金融界2025年8月5日音讯，国家知识产权局信息数据显现，使用资料公司请求一项名为“用于基板处理设备的氟化铝涂覆制品及出产办法”的专利，揭露号CN120435588A，请求日期为2024年01月。
专利摘要显现，一种用于处理具有包含氟化铝的涂层的基板的设备的部件，所述涂层安顿在所述部件的外表的至少一部分上。也揭露一种涂覆部件的办法、一种修正部件上的涂层的办法、及一种处理基板的办法。
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